Sensilo pri Temperaturo kaj Humideco por Semikonduktaĵo Pura Ĉambra Temperaturo Humideca Kontrolo
Produkta Spektaklo
La temperaturokajhumideco de pura spaco estas ĉefe determinita laŭ la procezaj postuloj, sed sub la kondiĉo plenumi la procezpostulojn, la sento de komforto devas esti konsiderata.Kun la plibonigo de aera pureco postuloj, estis tendenco de pli kaj pli striktaj postuloj por temperaturo kaj humideco.
Ĉar la pretiga precizeco estas pli kaj pli bona, do la temperaturo-fluktuado estas malpli kaj malpli.Ekzemple, en la litografia ekspozicioprocezo de grandskala integra cirkvitoproduktado, la diferenco de termika ekspansio koeficiento inter vitro kaj silicioblato kiel maskomaterialo estas postulata por esti pli kaj pli malgranda.Diametro 100 um silicioblato, temperaturo altiĝo 1 gradon, kaŭzos 0.24um linia ekspansio, do devas esti temperaturo de ± 0.1 grado, samtempe la humideca valoro estas ĝenerale malalta, ĉar homoj ŝvitas, la produkto havos poluon, speciale timas pri natria duonkondukta laborejo, ĉi tiu laborejo ne devus superi 25 gradojn.
Alta humideco kaŭzas pli da problemoj.Kiam relativa humideco superas 55%, roso formiĝos sur la muro de malvarmiga akvotubo, kio kaŭzos diversajn akcidentojn se ĝi okazas en precizecaj aparatoj aŭ cirkvitoj.Kiam la relativa humideco estas 50%, estas facile rusti.Krome, kiam la humido estas tro alta, la polvo algluita al la surfaco de la silicia blato estos kemie adsorbita sur la surfaco por rezisti forigon.Ju pli alta estas la relativa humideco, la adhero malfacilas forigi, sed kiam la relativa humideco estas pli malalta ol 30%, la eroj estas facile adsorbeblaj sur la surfaco pro la ago de elektrostatika forto, kaj granda nombro da duonkonduktaĵoj estas. inklina al paneo.La optimuma temperaturo por produktado de oblatoj estas 35-45%.
Tial, la kontrolo de temperaturo kaj humideco estas aparte grava, HENGKO povas provizi al vi serion detemperaturo kaj humideco dissendilo personecigitaj pretigaj solvoj!
Sensilo pri Temperaturo kaj Humideco por Semikonduktaĵo Pura Ĉambra Temperaturo Humideca Kontrolo
Ĉu vi ne povas trovi produkton, kiu konformas al viaj bezonoj?Kontaktu nian vendan personaron porOEM/ODM personigo servoj! 
