Altnivelaj IGS Surfacmuntaj C-sigelaj Filtriloj por Ultra-Puraj Duonkonduktaĵaj Gassistemoj
Priskribo
La filtriloj HENGKO por surfacmuntado estas desegnitaj por plenumi la postulemajn postulojn de integraj gassistemoj uzataj en duonkonduktaĵaj originalaj ekipaĵoj (OEM). Oferante industri-gvidan filtradon je 0.003 µm, ĉi tiuj filtriloj certigas esceptan rendimenton kaj fidindecon kun partikla interkapta efikeco de ≥99.9999999% (9-LRV) je 120 slpm.
Konstruitaj el fortika 316L rustorezista ŝtalo, pulvora sinterizado de la filtra elemento kaj enfermaĵo, ĉi tiuj filtriloj konformas al la specifoj SEMI F86-0304, kun du-portaj komponantoj adaptitaj por 1,125-colaj gasdistribuaj sistemoj kun C-sigela konfiguracio. Ili subtenas maksimuman eniran premon de 3,4 MPa je 100 °C kaj maksimuman funkcian premdiferencon de 0,69 MPa je 100 °C.
Ĉi tiuj specialigitaj filtriloj, kongruaj kun kaj C-tipaj kaj W-tipaj sigelspecifoj, atingas purecon laŭflue per partikla liberigo de
Kun surfaca finpoluro de Ra< 1,6 µm sur la ekstero kaj RaKun maldikaj dikaloj interne, ili estas desegnitaj por elteni altajn temperaturojn ĝis 460 °C. Realigitaj por facila integriĝo kaj modulaj dezajnaj ĝisdatigoj, ĉi tiuj filtriloj simpligas la instaladon kaj prizorgadon, helpante optimumigi sisteman rendimenton en aplikoj de liverado kaj kontrolado de duonkonduktaĵaj gasoj.
Produkta Trajto
▶ Tuta konstruo el neoksidebla ŝtalo 316L
▶ Miniaturigita dezajno, kompakta strukturo, spacŝpara
▶ Bonegaj gasanstataŭigaj kaj desorbaj ecoj
▶ Alta temperaturo, alta premo kaj korodorezistema
▶ Elektro-polurita 316L rustorezista ŝtala enfermaĵo
▶ Facila kaj efika instalado kaj bontenado
▶ Mekanika sigelado, strukture neveldita al la medio
Datumfolio
| Teknikaj Parametroj | Valoroj |
|---|---|
| Filtrila Elementa Materialo | 316L Neoksidebla ŝtalo Sintrita Pulvoro |
| Loĝmaterialo | 316L Neoksidebla ŝtalo |
| Maksimuma Enira Premo | 3.4 MPa je 100°C |
| Maksimuma Funkciiga Diferencialo | 0,69 MPa je 100 °C |
| Heliumo-Konfirmo-Lika Indico | 1x10⁻¹¹ kubaj kubaj metroj/min |
| Heliumo-Testo-Lika Indico | 1x10⁻⁹ kubaj metroj/min |
| Surfaca Traktado | Ekstera Surfaco Ra< 1.6 μm |
| Interna Surfaco Ra< 0,13 μm | |
| Maksimuma Funkciiga Temperaturo | 460°C |
| Partikla Interkapta Efikeco | ≥99.9999999% (9-LRV) je 120 slpm (Referenca MPPS, ĉiuj partikloj) |
| Laŭflua Pureco | Partikla Liberigo:< 0,03 partikloj/litro (< 1 partiklo/ft³) |
| Volatiloj:< 10 ppb humideco | |
| Partikla Interkapta Grandeco | ≥0.003 μm |
| Flua Gamo | 0 ~ 120 funtoj minute |
Grandeco
Jen la partnumero, kiun vi povas mendi, kaj detaloj pri grandeco:
| Produkta Modelo | Flukvanto | Alto H (mm) | Filtrada Precizeco | Purignivelo |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 funtoj minute | 82.9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 funtoj minute | 126.2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 funtoj minute | 167.9 | 0,003 μm | C |
Tipaj Aplikoj
Por uzo kun W-seal kaj C-seal, 1,125" kaj 1,5" surfacmuntaj modulaj gasliveraj sistemoj.
Sendu vian mesaĝon al ni:
